خىمىيىلىك مېخانىك سىلىقلاش (CMP) ھەمىشە خىمىيىلىك رېئاكسىيە ئارقىلىق سىلىق يۈز ھاسىل قىلىشقا قاتنىشىدۇ ، بولۇپمۇ يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ياساش كەسپىدە ئىشلەيدۇ.Lonnmeter، 20 يىلدىن ئارتۇق ئىچكى قۇرۇقلۇق قويۇقلۇقىنى ئۆلچەش تەجرىبىسى بار ئىشەنچلىك يېڭىلىق ياراتقۇچى ، زامانىۋى تەمىنلەيدۇيادروسىز زىچلىق ئۆلچىمىيېپىشقاقلىق سېنزورى پاتقاقنى باشقۇرۇشتىكى قىيىن مەسىلىلەرنى ھەل قىلىدۇ.
لاياقەتلىك سۈپەت ۋە لونمېتېر تەجرىبىسىنىڭ ئەھمىيىتى
خىمىيىلىك مېخانىكىلىق سىلىقلاش لايلىرى CMP جەريانىنىڭ ئومۇرتقىسى بولۇپ ، يۈزلەرنىڭ بىردەكلىكى ۋە سۈپىتىنى بەلگىلەيدۇ. سىيرىلما زىچلىق ياكى يېپىشقاقلىقنىڭ بىردەك بولماسلىقى مىكرو سىزىقچىلار ، ماتېرىياللارنى تەكشى ئېلىۋەتمەسلىك ياكى تاختاي توسۇلۇپ قېلىش قاتارلىق كەمتۈكلۈكلەرنى كەلتۈرۈپ چىقىرىپ ، ۋافېر سۈپىتىگە زىيان يەتكۈزۈپ ، ئىشلەپچىقىرىش تەننەرخىنى ئاشۇرۇۋېتىدۇ. سانائەت ئۆلچەش ھەل قىلىش لايىھىسىدىكى دۇنياۋى باشلامچى لوننمېتېر ئىنچىكە پاتقاقنى ئۆلچەش بىلەن شۇغۇللىنىپ ، ئەڭ ياخشى پاتقاق ئۈنۈمىگە كاپالەتلىك قىلىدۇ. ئىشەنچلىك ، يۇقىرى ئېنىقلىقتىكى سېنزورنى يەتكۈزۈشنىڭ ئىسپاتلانغان خاتىرىسى بىلەن Lonnmeter ئالدىنقى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئىشلەپچىقارغۇچىلار بىلەن ھەمكارلىق ئورنىتىپ ، جەرياننى كونترول قىلىش ۋە ئۈنۈمنى يۇقىرى كۆتۈردى. ئۇلارنىڭ يادروسىز پاتقاق زىچلىقى ئۆلچىمى ۋە يېپىشقاقلىق سېنزورى دەل ۋاقتىدا سانلىق مەلۇمات بىلەن تەمىنلەيدۇ ، ئېنىق تەڭشەش ئارقىلىق پاتقاقنىڭ بىردەكلىكىنى ساقلاپ ، زامانىۋى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ياساشنىڭ قاتتىق تەلىپىنى قاندۇرالايدۇ.
يېرىم يىللىق ئۆتكۈزگۈچ شىركەتلىرىنىڭ ئىشەنچىسى بىلەن ئىچكى قويۇقلۇقنى ئۆلچەشتىكى 20 نەچچە يىللىق تەجرىبە. Lonnmeter نىڭ سېنزورى يوچۇقسىز بىر گەۋدىلىشىش ۋە نۆل ئاسراش ئۈچۈن لايىھەلەنگەن بولۇپ ، مەشغۇلات تەننەرخىنى تۆۋەنلىتىدۇ.
يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ياساشتا خىمىيىلىك مېخانىكىلىق پولشانىڭ رولى
خىمىيىلىك مېخانىكىلىق سىلىقلاش (CMP) يەنە خىمىيىلىك مېخانىكىلىق پىلانلاش دەپمۇ ئاتىلىدۇ ، ئۇ يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ياساشنىڭ ئۇل تېشى بولۇپ ، ئىلغار ئۆزەك ئىشلەپچىقىرىش ئۈچۈن تەكشى ، نۇقسانسىز يۈز ھاسىل قىلىدۇ. خىمىيىلىك يېپىشتۇرۇش بىلەن مېخانىكىلىق سۈركىلىشنى بىرلەشتۈرۈش ئارقىلىق ، CMP جەريانى 10nm دىن تۆۋەن تۈگۈنلەردە كۆپ قاتلاملىق توپلاشتۇرۇلغان توك يولىغا ئېھتىياجلىق ئېنىقلىققا كاپالەتلىك قىلىدۇ. سۇ ، خىمىيىلىك رېئاكتور ۋە سۈركىلىشچان زەررىچىلەردىن تەركىب تاپقان خىمىيىلىك مېخانىكىلىق سىلىقلاش لايلىرى سىلىقلاش تاختىسى ۋە ۋافېر بىلەن ئۆز-ئارا تەسىر كۆرسىتىپ ، ماتېرىيالنى بىردەك چىقىرىۋېتىدۇ. يېرىم ئۆتكۈزگۈچ لايىھىسىنىڭ تەرەققىي قىلىشىغا ئەگىشىپ ، CMP جەريانى كۈنسېرى مۇرەككەپلىشىۋاتىدۇ ، كەمتۈكلۈكنىڭ ئالدىنى ئېلىش ۋە يېرىم ئۆتكۈزگۈچ زاۋۇتى ۋە ماتېرىيال بىلەن تەمىنلىگۈچىلەر تەلەپ قىلغان سىلىق ، سىلىقلانغان ۋافېرغا ئېرىشىشنى تەلەپ قىلىدۇ.
بۇ جەريان 5nm ۋە 3nm ئۆزىكىدە كەمتۈكلۈك بار بولۇپ ، كېيىنكى قەۋەتلەرنىڭ توغرا چۆكۈپ كېتىشىگە كاپالەتلىك قىلىدۇ. كىچىككىنە پاتقاق ماسلاشماسلىقمۇ قىممەت باھالىق قايتا ئىشلەش ياكى مەھسۇلاتنىڭ زىيىنىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ.
پاتقاق خۇسۇسىيىتىنى نازارەت قىلىشتىكى رىقابەت
خىمىيىلىك مېخانىك سىلىقلاش جەريانىدا ئىزچىل سىيرىلىش زىچلىقى ۋە يېپىشقاقلىقىنى ساقلاش خىرىسقا تولغان. توشۇش ، سۇ ياكى ھىدروگېن ئوكسىد بىلەن سۇيۇلۇش ، ئارىلاشتۇرۇش يېتەرلىك بولماسلىق ياكى خىمىيىلىك بۇزۇلۇش قاتارلىق ئامىللار سەۋەبىدىن پاتقاق خۇسۇسىيىتى ئوخشىمايدۇ. مەسىلەن ، سۇلياۋ يوپۇقلارغا ئورۇنلاشتۇرۇلغان زەررىچىلەر تۆۋەندە زىچلىقنى كەلتۈرۈپ چىقىرىپ ، ئوخشاش بولمىغان پولتىيىپ چىقىشنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ. PH ، ئوكسىدلىنىشنى ئازايتىش يوشۇرۇن كۈچى (ORP) ياكى ئۆتكۈزۈشچانلىقى قاتارلىق ئەنئەنىۋى نازارەت قىلىش ئۇسۇللىرى ھەمىشە يېتەرلىك ئەمەس ، چۈنكى ئۇلار پاتقاق تەركىبىدىكى ئىنچىكە ئۆزگىرىشلەرنى بايقىيالمايدۇ. بۇ چەكلىمىلەر كەمتۈكلۈكنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ ، ئېلىۋېتىش نىسبىتىنى تۆۋەنلىتىدۇ ۋە ئىستېمال تەننەرخىنى ئاشۇرۇۋېتىدۇ ، يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلىرى ئىشلەپچىقارغۇچىلار ۋە CMP مۇلازىمىتى بىلەن تەمىنلىگۈچىلەرگە زور خەتەر ئېلىپ كېلىدۇ. بىر تەرەپ قىلىش ۋە تارقىتىش جەريانىدىكى ئۆزگىرىشلەر ئىقتىدارغا تەسىر كۆرسىتىدۇ. 10nm دىن تۆۋەن تۈگۈنلەر پاتقاق ساپلىق ۋە ئارىلاشما توغرىلىقنى تېخىمۇ قاتتىق كونترول قىلىشنى تەلەپ قىلىدۇ. pH ۋە ORP ئەڭ كىچىك ئۆزگىرىشچانلىقىنى كۆرسىتىپ بېرىدۇ ، ھالبۇكى ئۆتكۈزۈشچانلىقى ئاستا-ئاستا قېرىش بىلەن ئوخشىمايدۇ. ھەر بىر كەسىپ تەتقىقاتىدا ماس كەلمەيدىغان پاتقاق خۇسۇسىيەت كەمتۈكلۈك نىسبىتىنى% 20 يۇقىرى كۆتۈرەلەيدۇ.
Lonnmeter نىڭ ھەقىقىي ۋاقىتنى نازارەت قىلىشتىكى سېنزورى
Lonnmeter ئۆزىنىڭ ئىلغار يادروسىز پاتقاق زىچلىقى ئۆلچىمى ۋە بۇ خىرىسلارنى ھەل قىلىدۇيېپىشقاقلىق سېنزورىتوردىكى يېپىشقاقلىقنى ئۆلچەشنىڭ يېپىشقاقلىق ئۆلچەش ئەسۋابى ۋە ئۇلترا ئاۋاز دولقۇنىنىڭ زىچلىقىنى ئۆلچەش ئەسۋابىنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ. بۇ سېنزورلار CMP جەريانلىرىغا يوچۇقسىز بىرىكتۈرۈش ئۈچۈن لايىھەلەنگەن بولۇپ ، كەسىپ ئۆلچىمى ئۇلانغان. Lonnmeter نىڭ ھەل قىلىش چارىسى پۇختا قۇرۇلۇش ئۈچۈن ئۇزۇن مۇددەتلىك ئىشەنچلىك ۋە تۆۋەن ئاسراش بىلەن تەمىنلەيدۇ. دەل ۋاقتىدا سانلىق مەلۇمات تىجارەتچىلەرنىڭ پاتقاق ئارىلاشمىلارنى ئىنچىكە تەڭشەپ ، كەمتۈكلۈكنىڭ ئالدىنى ئالىدۇ ۋە سىلىقلاش ئىقتىدارىنى ئەلالاشتۇرىدۇ ، بۇ قوراللارنى ئانالىز ۋە سىناق ئۈسكۈنىلىرى بىلەن تەمىنلىگۈچىلەر ۋە CMP ئىستېمالچىلار بىلەن تەمىنلىگۈچىلەردە كەم بولسا بولمايدۇ.
CMP ئەلالاشتۇرۇشنى ئۈزلۈكسىز نازارەت قىلىشنىڭ پايدىسى
Lonnmeter نىڭ ئىچكى سېنزورى بىلەن ئۇدا نازارەت قىلىش ھەرىكەتچان چۈشەنچە ۋە كۆرۈنەرلىك تەننەرخنى تېجەپ خىمىيىلىك مېخانىك سىلىقلاش جەريانىنى ئۆزگەرتىدۇ. كەسىپ ئۆلچىمىگە ئاساسەن ، دەل ۋاقتىدا پاتقاقلىق زىچلىقىنى ئۆلچەش ۋە يېپىشقاقلىقنى نازارەت قىلىش سىزىلغان ياكى ئارتۇق سىلىقلاش قاتارلىق نۇقسانلارنى% 20 تۆۋەنلىتىدۇ. PLC سىستېمىسى بىلەن بىر گەۋدىلەشتۈرۈش ئاپتوماتىك دورا ئىشلىتىش ۋە جەرياننى كونترول قىلىشقا شارائىت ھازىرلاپ ، پاتقاق خۇسۇسىيەتنىڭ ئەڭ ياخشى دائىرىدە تۇرۇشىغا كاپالەتلىك قىلىدۇ. بۇ ئىستېمال چىقىمىنىڭ% 15-25 تۆۋەنلىشىنى ، چۈشۈش ۋاقتىنى ئەڭ تۆۋەن چەككە چۈشۈرۈپ ، ۋافېرنىڭ بىردەكلىكىنى ئۆستۈرىدۇ. يېرىم ئۆتكۈزگۈچ زاۋۇتى ۋە CMP مۇلازىمەت بىلەن تەمىنلىگۈچىلەرگە نىسبەتەن ، بۇ پايدىلار ئىشلەپچىقىرىش ئۈنۈمىنى ئاشۇرۇش ، پايدا نىسبىتى يۇقىرى بولۇش ۋە ISO 6976 غا ئوخشاش ئۆلچەمگە ماسلىشىشنى كۆرسىتىدۇ.
CMP دىكى پاتقاقنى نازارەت قىلىش توغرىسىدا كۆپ ئۇچرايدىغان سوئاللار
نېمە ئۈچۈن پاتقاق زىچلىقىنى ئۆلچەش CMP ئۈچۈن ئىنتايىن مۇھىم؟
پاتقاق زىچلىقىنى ئۆلچەش زەررىچىلەرنىڭ بىردەك تارقىلىشى ۋە بىردەكلىكىنىڭ بىردەك بولۇشىغا كاپالەتلىك قىلىدۇ ، خىمىيىلىك مېخانىك سىلىقلاش جەريانىدا كەمتۈكلۈكنىڭ ئالدىنى ئالىدۇ ۋە ئېلىۋېتىش نىسبىتىنى ئەلالاشتۇرىدۇ. ئۇ يۇقىرى سۈپەتلىك ۋافېر ئىشلەپچىقىرىش ۋە كەسىپ ئۆلچىمىگە ئەمەل قىلىشنى قوللايدۇ.
يېپىشقاقلىقنى نازارەت قىلىش CMP ئۈنۈمىنى قانداق ئۆستۈرىدۇ؟
يېپىشقاقلىقنى نازارەت قىلىش ئىزچىل پاتقاق ئېقىمىنى ساقلايدۇ ، تاختاي توسۇلۇش ياكى تەكشى سىلىقلاش قاتارلىق مەسىلىلەرنىڭ ئالدىنى ئالىدۇ. Lonnmeter نىڭ ئىچكى سېنزورى CMP جەريانىنى ئەلالاشتۇرۇش ۋە ۋافېرنىڭ مەھسۇلات مىقدارىنى ئاشۇرۇش ئۈچۈن ھەقىقىي سانلىق مەلۇمات بىلەن تەمىنلەيدۇ.
لونمېتېرنىڭ يادروسىز پاتقاق زىچلىقى مېتىرنى نېمە ئالاھىدە قىلىدۇ؟
Lonnmeter نىڭ يادروسىز پاتقاق زىچلىقى ئۆلچەش ئەسۋابى بىرلا ۋاقىتتا زىچلىقى ۋە يېپىشقاقلىق دەرىجىسىنى يۇقىرى ئېنىقلىق ۋە نۆل ئاسراش بىلەن تەمىنلەيدۇ. ئۇلارنىڭ پۇختا لايىھىلىنىشى CMP جەريان مۇھىتىنىڭ ئىشەنچلىك بولۇشىغا كاپالەتلىك قىلىدۇ.
يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ياساشتىكى خىمىيىلىك مېخانىك سىلىقلاش جەريانىنى ئەلالاشتۇرۇشتا دەل ۋاقتىدا پاتقاق زىچلىقىنى ئۆلچەش ۋە يېپىشقاقلىقنى نازارەت قىلىش ئىنتايىن مۇھىم. Lonnmeter نىڭ يادروسىز پاتقاق زىچلىقى ئۆلچەش ئەسۋابى ۋە يېپىشقاقلىق سېنزورى يېرىم ئۆتكۈزگۈچ ئۈسكۈنىلىرى ئىشلەپچىقارغۇچىلار ، CMP ئىستېمالچىلار بىلەن تەمىنلىگۈچىلەر ۋە يېرىم ئۆتكۈزگۈچ زاۋۇتىنى پاتقاق باشقۇرۇشتىكى قىيىنچىلىقلارنى يېڭىش ، كەمتۈكلۈكنى ئازايتىش ۋە تەننەرخنى تۆۋەنلىتىش قوراللىرى بىلەن تەمىنلەيدۇ. ئېنىق ، دەل ۋاقتىدا سانلىق مەلۇمات يەتكۈزۈش ئارقىلىق ، بۇ ھەل قىلىش چارىلىرى جەريان ئۈنۈمىنى ئۆستۈرىدۇ ، ماسلىشىشچانلىقىغا كاپالەتلىك قىلىدۇ ھەمدە رىقابەت كۈچىگە ئىگە CMP بازىرىدا پايدا ئالىدۇ. زىيارەت قىلىڭLonnmeter نىڭ تور بېكىتىياكى بۈگۈن ئۇلارنىڭ گۇرۇپپىسى بىلەن ئالاقىلىشىپ ، Lonnmeter نىڭ خىمىيىلىك مېخانىكىلىق سىلىقلاش مەشغۇلاتىڭىزنى قانداق ئۆزگەرتەلەيدىغانلىقىنى بايقايسىز.
يوللانغان ۋاقتى: Jul-22-2025
